Wegänderung genau erfassen
Als Anwender profitieren Sie von einer einfachen Bedienbarkeit gepaart mit extrem hoher Auflösung. Messfehler durch ungenaues Justieren oder systemspezifische Eigenheiten sind bei den Systemen von aixACCT Systems praktisch ausgeschlossen.
Im Allgemeinen arbeiten unsere PES Systeme mit SIOS Laserinterferometern, die wir jeweils exakt auf den jeweiligen Anwendungsfall hin anpassen.
Hochauflösend messen
Bei Messungen an Bulkmaterialien ermöglichen Einstrahlinterferometer im Zusammenspiel mit den jeweiligen Probenhaltern Auflösungen von unter 1 nm. Wir setzen Einstrahlinterferometer darüber hinaus in unseren PES-Systemen für Multilayer ein und erzielen auch dort genaueste Ergebnisse.
Punktgenau durch integriertes Mikroskop
Zur Untersuchung von Mems-Strukturen, z.B. Membranen oder Cantilevern, eignen sich spezielle Laser mit integriertem Mikroskop. Spotsizes von wenigen µm machen punktgenaue Messungen der Auslenkung von mikromechanischen Strukturen möglich.
Sie möchten mehr erfahren? Gerne beraten wir Sie individuell, welche Laserinterferometer für Sie am besten geeignet ist. Wir freuen uns, von Ihnen zu hören.