Herzstück aller aixACCT Messsysteme
Mit dem „Ur-Gerät“ der TF Analyzer eröffneten wir unseren Kunden im Jahr 1999 neue Möglichkeiten: Messungen an 300 nm Pads. Zum ersten Mal konnten damit Speicherstrukturen exakt gemessen werden. Möglich macht dies die von aixACCT Systems entwickelte Kompensationsmethode. Sie erlaubt es, Ströme, die durch parasitäre Kapazitäten (z.B. die Kabelzuleitung) entstehen, von den eigentlichen Schaltströmen des Materials zu unterscheiden.
Vorteil für FeRAM-Hersteller
Die neue Messmethode, mit der wir erstmals das Schalten an ferro-elektrischen Schichten für Speicheranwendungen korrekt bestimmen konnten, war für alle FeRAM-Hersteller von großem Vorteil. Für aixACCT war sie ein entscheidender Erfolg, den wir später mit dem Fokus auf ferroPiezo (Bulk thin film multilayer) fortsetzten.
aixplorer 3.0 – kommuniziert und steuert
Bestandteil jedes TF Analyzers ist die Software aixplorer 3.0. Sie hält die Kommunikation mit anderen Geräten und kann komplexe Messsysteme steuern. Der eigentliche Analyzer dient hierbei als Kontroll- und Datenerfassungssystem.