Für viele Tests mit hoher Variabilität
Der Produktionsprozess von Dünnschicht-Druckköpfen ist sehr komplex und er ist neu. Es fehlt an Erfahrungswerten. Ein Messsystem muss daher geeignet sein, sehr viele verschiedene Tests mit hoher Variabilität am Kernstück des gesamten Druckkopfs durchzuführen. Dieses „piezo device“, besteht typischerweise aus zwei übereinander gesetzten Wafern (siehe Bild). Der direkte Zugang zur aktiven Membran ist daher nur durch die „nozzle“ (Düse) möglich, die Kontaktierung jedoch nur auf der gegenüberliegenden Seite. Daher musste der Probenhalter auf diese spiezielle Anforderung angepasst werden.
Funktionsprüfung ohne Tinte
Es ist daher möglich, die Auslenkung der Membran durch die Düse und die Tintenkammer zu messen. So können Sie die Funktion des Druckkopfes ohne Tinte überprüfen. Vorteilhaft ist auch, dass das System über zwei Kontaktmodi verfügt. Für eine schnelle und flexible Prüfung können Sie als Anwender ein Elektrodenpaar mit zwei Positionierern (Nadelhaltern) für die Einzelmessung kontaktieren. Es ist darüber hinaus möglich, automatisierte Tests eines Satzes von Kontakten und der entsprechenden Düsen nacheinander durchzuführen.
Proben parallel kontaktieren
Eine kundenspezifische Probekarte ermöglicht Ihnen, bis zu 240 Proben (Nozzle) parallel zu kontaktieren und die Auslenkung jeder Membran sequentiell zu messen. Diese Hardware-Konfiguration erlaubt darüber hinaus, ein Anregungssignal parallel an alle Düsen (Nozzles) anzulegen, wie z.B. für paralleles Polen oder für Alterungsuntersuchungen, wobei in periodischen Intervallen jede Position bzw. Nozzle individuell charakterisiert wird.
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IHRE MÖGLICHKEITEN
- Charakterisierung in Produktion und Entwicklung
- Device-Qualifizierung
- Mapping von Messungen und Koeffizienten für große und kleine Signale
- Temperaturabhängige Messungen zwischen RT und 200°C
- Parallele Zuverlässigkeits- und Ermüdungstests auf Piezo-Performance
- Einfluss benachbarter Aktoren aufeinander
- Parallele Polung
- Leckstrom-Messungen
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IHRE VORTEILE
- Ein System zur umfassenden Bewertung von Druckkopfsystemen
- Eine Software für externe Hardwaresteuerung (z. B. Temperaturregler, Hochspannungsverstärker, Wegsensor, Schaltmatrix, Impedanzanalysator, Oszilloskop) und Datenerfassung
- Hochgenaues Positionierungssystem
- Spezieller Hot Chuck für temperaturabhängige Messungen ermöglicht die Kontaktierung von Geräten während der Aufheizphase
- x,y,z und Teta-Stufen für die präzise Anpassung der Probecard auf die Kontakte
- Zwei Kameras mit Objektiven zur Ausrichtung von Kontakten und Laser
- Laserinterferometer mit Spotgrößen bis hinunter zu 5 µm
- Messbarer Nozzle-Durchmesser bis hinunter zu 20 µm (Wegänderungsmessungen)
- Messbare Nozzle-Tiefe 100 µm (@D20 µm) (Wegänderungsmessungen)
- Messzeit pro Nozzle bis zu 3 s
- Fernzugriff und Skriptsteuerung verfügbar
- Rezeptur-Editor und Wafer-Mapping
- Optionale Datenbankverbindung (ODBC) für einfachen Zugriff auf Material-/Geräteeigenschaften
