aixDBLI

aixACCT Systems hat dieses Messverfahren weiterentwickelt und für Ihre industrielle Anwendung nutzbar gemacht. Die Orientierung der optischen Komponenten in der Vertikalen ermöglicht eine horizontale Anordnung der Proben. Das vereinfacht die Bedienung. Zusätzlich sorgt ein neu entwickelter Regelalgorithmus dafür, dass der große Zeitbedarf für die Kalibrierung vor jeder Messung entfällt.

Dank dieses neuen Datenerfassungsalgorithmus profitieren Sie von einer um den Faktor 100 erhöhten Messgeschwindigkeit. In nur wenigen Sekunden wird der d₃₃-Parameter mit einzigartig hoher Auflösung abgeleitet. Damit sind Sie in Forschung, Entwicklung und Produktion Ihrer PZT MEMS Produkte in der Lage, das piezoelektrische Verhalten Ihrer dünnen Schichten mit einer verifizierten Genauigkeit von 0.2 pm/V  (Referenz x-cut Quarz) zu erfassen. Damit erhalten Sie ein System, das Ihnen die Möglichkeit bietet, den Einfluss einzelner Prozessparameter auf die Performance Ihres Materials zu erfassen.

In enger Zusammenarbeit mit unseren Industriepartnern haben wir außerdem einen Weg gefunden, mit Hilfe unseres Systems einen weiteren wichtigen Parameter zu monitoren: den e_31,f Koeffizienten. Er ist für viele MEMS Anwendungen von entscheidender Bedeutung und  kann nun auf Waferlevel bestimmt werden.