Probenhalter für Multilayer

Der Standard MLA deckt auf Grund der kleinsten Baugröße und austauschbarer Druckfedern den höchsten Frequenzbereich aller Systeme mit Vorspannkraft ab. Er kann dadurch sogar für eine einfache Bestimmung der Blockierkraftgeraden genutzt werden

Die Hochtemperatur-Ausführung des Probenhalters MLA besitzt eine integrierte Heizkammer. Das ermöglicht Ihnen, sowohl bei Raumtemperatur als auch bei einer Temperatur von bis zu 200 °C Messungen durchzuführen. Eine spezielle Ausführung erlaubt sogar Temperaturen bis zu 300 °C. Die Vorspannkraft, die durch die Stauchung der Druckfeder entsteht, können Sie über eine Digitalanzeige jederzeit präzise einstellen.

Der Temperaturbereich, in dem Sie Messungen an Multilayer-Aktoren durchführen können, ist verglichen mit dem Probenhalter MLA HT erweitert um Temperaturen unter Null. Dieses Feature ist unter anderem für Automotive-Anwendungen interessant.

Sie haben die Wahl zwischen einer Variante mit Umlaufkühlsystem, die den Temperaturbereich bis hinunter zu -40 °C abdeckt, und einer Ausführung, bei der Flüssigstickstoff als Kühlmedium zum Einsatz kommt. Mit dieser Variante können Sie Ihre Multilayer-Aktoren sogar bei Temperaturen bis hinunter zu -100 °C charakterisieren.

Möchten Sie die tatsächliche im Bauteil zu erreichende Auslenkung einer MEMS-Struktur unter mechanischer Vorspannung abschätzen? Genau dafür haben wir den nanoCMA entwickelt. Erhältlich ist er als Stand-Alone-Variante oder als Erweiterung Ihres DBLI. Die µN-Genauigkeit wird durch eine laserinterferometrische Messung der Durchbiegung einer Siliziumstruktur erreicht, die über eine konfigurierbaren Kontaktpunkt mit der Probe hergestellt wird.

In Kombination mit dem Kraftregelungssystem des CMA können Sie eine definierte Kraft auf die Teststrukturen aufbringen und dynamisch regeln. Damit simulieren Sie die im realen Bauteil vorherrschenden Steifigkeiten und entstehenden Kräfte. Sie können so z.B. die Kraft-Weg Kennlinie des Aktors aufnehmen und daraus Steifigkeit, max. Auslenkung und Blockierkraft bestimmen.

Ein weiteres Plus unserer modularen Systeme ist die Möglichkeit der Kombination mit dem RS Modul für die Durchführung von Kontaktwiderstandsuntersuchungen an MEMS Schaltern. Ein weiterer Clou: Der Siziliumcantilever, der zur Applizierung der Kraft dient, kann mit einem entsprechenden Kontaktmaterial beschichtet werden. Dadurch kann die Untersuchung möglicher Kontaktmaterialkombinationen ohne aufwendiges Prozessieren des Schalters erfolgen.

Kleinste Multilayer-Aktoren, Fasern, Faserverbundwerkstoffe oder dünne Bulkmaterialien wie kleine Biegeaktoren messen Sie mit Hilfe unseres µCMA. Neben der präzisen Messung von Groß- und Kleinsignalcharakteristika wie Polarisation, Großsignaldehnung, C(V) oder d33 erlaubt Ihnen dieses System auch die Messung der Blockierkraft und der Steifigkeit von Aktoren. Dazu ist das µCMA mit hochpräzisen Mikro-Manipulationstischen und Mikroskopen sowie Weg- und Kraftsensoren ausgestattet.

Hinzu kommt optional ein Heizsystem, das Ihnen Messungen im Bereich von Raumtemperatur bis zu 200 °C ermöglicht.

Sie möchten Aktoren mit einer Gesamtlänge von bis zu 100 mm messen? Dank des großen Stellbereichs und der Messkammer bieten wir mit unseren Standard-CMA-Systemen die richtige Lösung. Sie bieten den höchsten Kraftbereich. Je nach Probe können dynamische Kräfte von mehreren kN angelegt werden. Die statische Belastbarkeit liegt bei 30kN. Da hier hohe dynamische Kräfte auftreten, muss die Längenänderung des Aktors differentiell über ein Zweistrahllasersystem erfasst werden.

Multilayer, 1-Kristallsystem oder Bulkmaterialien können elektrisch und mechanisch kontaktiert werden. Dies ermöglicht die Charakterisierung von Bulkmaterialien mit Top- und Bottom-Kontakten mit Anregespannung von bis zu 10 kV. Die standardmäßige Heizkammer mit einem Temperaturbereich von RT bis 200 °C, kann auf -40 °C bis 200 °C erweitert werden. Die Temperatur wird hier über ein gefedertes Thermoelement an der Oberfläche der Aktoren gemessen.