Von einfach bis innovativ
Ob Sie nun Strukturen mit Durchmessern von weniger als 50 µm kontaktieren, hochspannungs- und/oder temperaturabhängige Messungen an Dünnschichten vornehmen oder den inversen e31 ,f -Koeffizienten nach der Kano/Muralt-Methode bestimmen möchten, unser Portfolio an Probenhaltern für Dünnschichten und MEMS passt perfekt zu Ihren Anforderungen. Überzeugen Sie sich selbst.
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Unser Basissystem für die Charakterisierung von Dünnschichten ist der einfache Kontaktierplatz.
Es besteht aus einer Acrylplatte mit Magnetsockel zur Nutzung mit einem von aixACCT entwickelten Messspitzenhalter. Als Zusatzausstattung ist eine hochauflösende Mikroskopkamera verfügbar. Damit lassen sich Strukturen mit einem Durchmesser von weniger als 50 µm kontaktieren.
Dank optionaler Abdeckung mit Interlock-System besteht die Möglichkeit, auch einen HV Verstärker zu verwenden. Die maximale Probengröße beträgt 8 Zoll.
Features
Einfache Bedienung Für Probengrößen bis 8 Zoll Bis zu vier Positionierer für 4-Punkt-Messung mit RS-Modul Optional hochauflösende Mikroskopkamera Hochspannungsoption mit Interlock-System Einfache Bedienung
Für Probengrößen bis 8 Zoll
Bis zu vier Positionierer für 4-Punkt-Messung mit RS-Modul
Optional hochauflösende Mikroskopkamera
Hochspannungsoption mit Interlock-System
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Der Probenhalter TFSHU für die elektrische Prüfung ermöglicht Ihnen hochspannungs- und/oder temperaturabhängige Messungen an Dünnschicht-Proben.
Sie sind unerlässlich für die Entwicklung von Aktor- oder Sensormaterialien. Die Heizeinheit ist in den Probenhalter integriert, so dass keine zusätzliche Temperaturkammer erforderlich ist.
Features
Probenoberfläche muss für die Messung von MEMS-Bauteilen poliert werden Spezieller Adapter zur Messung des indirekten e31-Koeffizienten an gesägten Proben Interlock-Schutzschaltung Probenkontaktierung durch zwei Positionierer Probenoberfläche muss für die Messung von MEMS-Bauteilen poliert werden
Spezieller Adapter zur Messung des indirekten e31-Koeffizienten an gesägten Proben
Interlock-Schutzschaltung
Probenkontaktierung durch zwei Positionierer
Spezifikationen
Temperatur max. 250°C (Temperaturmessung auf der Probe) Probendicke 0,1–10 mm Probendurchmesser max. 25 x 25 mm² (1” x 1”) Spannung max. 400 V Temperatur
max. 250°C (Temperaturmessung auf der Probe)
Probendicke
0,1–10 mm
Probendurchmesser
max. 25 x 25 mm² (1” x 1”)
Spannung
max. 400 V
Zusätzlich kann ein Laser zur Messung von MEMS Strukturen durch ein Positioniersystem erweitert werden. In Kombination mit einem verbesserten Kamerasystem können Sie auch kleine Strukturen gezielt einrichten. Mit einer optional erhältlichen Probenhalterung lässt sich auch der inverse e31,f-Koeffizient nach der Kano/Muralt-Methode bestimmen.
Optional kann der Temperaturbereich auf bis zu 500 °C und/oder -100°C erweitetert werden. Das ermöglicht Ihnen eine umfassende Charakterisierung von ferroelektrischen Hochtemperaturmaterialien
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Der „4-point bending sample holder“ lässt Sie die innovative Kraft von aixACCT Systems erleben: Sein Aufbau ermöglicht die Erzeugung homogener und definierter mechanischer Spannungen in der Dünnschicht.
Das garantiert Ihnen die präzise Ermittlung des piezoelektrischen Koeffizienten e31,f bei definierten Randbedingungen. Auch ein elektrisches Polen der Probe mit intermittierender Messung des e31,fKoeffizienten ist möglich. Das ist hilfreich, wenn Sie den Einfluss unterschiedlicher Poling-Bedingungen auf die Performance der Proben untersuchen möchten.
Die neue integrierte Verstärker- und Umschalteinheit erlaubt Ihnen darüber hinaus, Untersuchungen zur Ermüdung mit intermittierenden Messungen des Koeffizienten e31,f durchzuführen, DC Spannungsabhängigkeiten zu untersuchen und sogar h31 Messungen durchzuführen. Zusätzlich ermöglicht die Temperaturoption die Durchführung temperaturabhängiger Messungen.
Features
4-Punkt-Biegeprobenhalter mit Piezoaktor für die Krafterzeugung Befestigung für Lasersystem Einfaches Kontaktieren Top- und Bottom- Elektrode Automatisiertes Umschalten zwischen e31-Messung und Poling Messung von elektrischer und mechanischer Ermüdung Spezielle Probengeometrie erforderlich Spezielles Positionierungswerkzeug für eine einfach zu bedienende und präzise Probenausrichtung 4-Punkt-Biegeprobenhalter mit Piezoaktor für die Krafterzeugung
Befestigung für Lasersystem
Einfaches Kontaktieren Top- und Bottom- Elektrode
Automatisiertes Umschalten zwischen e31-Messung und Poling
Messung von elektrischer und mechanischer Ermüdung
Spezielle Probengeometrie erforderlich
Spezielles Positionierungswerkzeug für eine einfach zu bedienende und präzise Probenausrichtung
Spezifikationen
Temperaturbereich: Raumtemperatur bis max. 200 °C Frequenzbereich ab 10 mHz Spannung max. 400 V (für Poling) Temperaturbereich:
Raumtemperatur bis max. 200 °C
Frequenzbereich
ab 10 mHz
Spannung
max. 400 V (für Poling)
Weitere Features und Details finden Sie in unseren Produktinformationen: