Produktionstools auf Basis von Wafer-Probern
Die Wafer-Prober-basierten Systeme gehören zu der Gruppe unserer Produktionstools. Sie ermitteln während des Produktionsprozesses lokal zum Beispiel elektrische und elektromechanische, thermische oder pyroelektrische Eigenschaften. Das erste Messsystem, das wir in einen Wafer-Prober integriert haben, war unser Doppelstrahl-Laser-Interferometer (DBLI). Es ermittelt den d33,f Koeffizienten. Je nach Ausstattung der Prober sind automatisches Laden und automatisches Alignment der Wafer möglich.
Intuitiv zu bedienen
Alle Systeme, DBLI, PIAS und CIT, werden von einer intuitiv zu bedienenden Software gesteuert. Egal welcher Prober oder welches Messsystem: Die Grundstruktur der Steuerung ist immer die gleiche. Unterschiedliche Zugriffsrechte für die Benutzer stellen sicher, dass Ihr Personal das komplexe System ohne vorherige aufwändige Schulung bedienen kann.
Selbstverständlich besteht auch die Möglichkeit der Anbindung an übergeordnete Kontrollsysteme, z.B. über eine SECS/GEM Schnittstelle.
Unser Fokus liegt nicht ausschließlich auf der speziell für proberbasierte Systeme entwickelten Software, sondern auch auf der Integration von Hardware-Komponenten. Sei es die weltweit einzige kommerziell erhältliche Doppelstrahl-Lasertechnologie, die Einbindung von hochspezialisierten Kamerasystemen oder ein Lasersystem zur punktuellen Erwärmung von Strukturen: Alles ist vorstellbar. Sprechen Sie uns an!