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2020
Neuer Geschäftsbereich TMC - Tools, Measurement, Consulting
Mit dem Engagement von Peter Mardilovich und seinem Team baut aixACCT seinen Testingbereich entscheidend in Richtung Consulting für den gesamten Dünnschichtprozess aus. -
2018
Einführung des ersten Produktionstools Polaron
Produktionssystem zur automatischen Polung und QA von Bulk und Multilayern. -
2016
Erste Messung des e31,f auf Waferlevel
Messprinzip ermöglicht die zerstörungsfreie Messung des e31,f mittels Messung des d33,f auf verschiedenen Padgrößen. -
2015
e31,f Erweiterung der TFHSU nach dem Kanno/Muralt-Prinzip
Probenhaltereinsatz ermöglicht die invertierte Messung des e31,f. -
2014
aixTNT – Through Nozzle Testsystem
Spezialsystem basierend auf dem ScanningPES zur Charakterisierung von Dünnschicht-Druckköpfen. -
2013
PSHU Kryo
Erweiterung des Temperaturbereiches unseres Piezo Sample Holders auf -100°C bis 600°C. -
2012
Einführung TFHSU Thin Film Sample Holder Unit
Dünnschicht-Messplatz für die temperaturabhängige ferroelektrische Charakterisierung. -
2009
aixDBLI Industrial Line
Vollautomatisches DBLI mit Industrieprober und Loader sowie SECS-GEM zur Anbindung an übergeordnete Produktionskontrollsysteme. -
2007
Einführung CMA und PTTB
Testsystem zur Charakterisierung von piezoelektrischen Multilayer-Aktoren unter definierter Vorspannung und dynamischen Kraftprofilen. -
2006
Erstes Double Beam Laser Interferometer (DBLI)
Das erste kommerziell erhältliche Doppelstrahl-Interferometer ermöglicht eine schnelle und hochauflösende Messung des d33,f von geklemmten Dünnschichten. -
2006
4-Punkt-Biege-System (aix4PB)
Der gemeinsam mit der EPFL entwickelte Messplatz aix4PB dient der Bestimmung des e31,f Koeffizienten von piezoelektrischen Dünnschichten.
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2002
Erstes piezoelektrisches Testsystem (PES)
Basierend auf dem TF Analyzer entwickeln wir das erste Messsystem zu Charakterisierung piezoelektrischer Bulkmaterialien. Es ermöglicht die simultane Messung von Polarisation und Dehnung unter hohen elektrischen Feldern. -
1999
Erster windowsbasierter ferroelektrischer Analyzer
aixACCT wird als Spin-Off der RWTH Aachen zur GmbH. -
1995
Gründung mit staatlicher Förderung
aixACCT ist dem Lehrstuhl von Prof. Waser an der RWTH Aachen zugeordnet.
Vertiefende Informationen zu den wissenschaftlichen Meilensteinen finden Sie hier: